ポリコールド
※新規販売から中古旧型機との入れ替え作業及び販売を承ります。

Brooks Automation Polycold Systems 独自の冷却サイクルにて、 1台のコンプレッサーのみを用い、不燃性かつ安全な混合冷媒 ガスの圧縮/膨張を繰り返すことにより、最大-160℃まで冷却 を行います。 チャンバー内の水分子(H2O)を超低温のクライオコイル(冷却 用コイル)に吸着排気させる事により、従来の排気時間を25%~ 75%短縮させる事が可能です。蒸着装置、スパッタ装置、イオン注 入装置、ロールコーター、イオンミリング装置,真空溶解炉、電子ビ ーム溶接装置、リークディテクター等、あらゆる真空装置のクライオ コイル、コールドトラップ、バッフル等の冷却に使われています。

ポリコールド

使用例

PFCタイプ ・・・クライオコイルの冷却 PFCタイプ ・・・クライオコイルの冷却
PFCタイプ PFCタイプ
Pタイプ・・・バッフルの冷却 PCTタイプ・・・コールドトラップの冷却
Pタイプ PCTタイプ